产品中心
Product Center
产品中心
PRODUCTS CENTER
适用场景：用于运输转移石英炉管
设备特点：
车体轻巧便于运输、运输数量可定制、设有石英管防护
设备特点：
车体轻巧便于运输、运输数量可定制、设有石英管防护
适用场景：电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备特点：
●台面为不锈钢材质；可根据需求配置抽屉、锁等配件
设备特点：
●台面为不锈钢材质；可根据需求配置抽屉、锁等配件
适用场景：电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备特点：
●整体为不锈钢材质，结实耐用不产尘
设备特点：
●整体为不锈钢材质，结实耐用不产尘
适用场景：用于搬运和抓取FOUP或Reticle
设备特点：
1、高精度定位，协作机器人内建视觉系统，结合协作机器人实现对物体的精准抓放，重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描，并结合点位规划、设计，无需具备专业知识即可快速完成地图的建立，实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术，实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同，提升管理水平
4、通过车头的安全激光，能够自主进行避障，同时在车尾安装有声纳，能够检测后方障碍物体；并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数，安全平稳的行驶
设备特点：
1、高精度定位，协作机器人内建视觉系统，结合协作机器人实现对物体的精准抓放，重复定位精度可达0.1mm
2、通过配套软件对厂区地图进行扫描，并结合点位规划、设计，无需具备专业知识即可快速完成地图的建立，实时扫描环境与内部地图进行比对来实现定位，优化路径选择
3、通过EM车队调度管理器来实现优化路径计算、优先派单、避障等技术，实现智能工厂的人流、物流、信息流有效协同，提升管理水平
4、通过车头的安全激光，能够自主进行避障，同时在车尾安装有声纳，能够检测后方障碍物体；并通过设定的安全距离、速度、加速度等相关参数，安全平稳的行驶
适用场景：存储易燃、易爆、腐蚀、有毒等危险化学药品
设备特点：
●专注于危化品安全管理，研发和生产世界领先的安全存储、泄漏预防及控制和特殊防护产品。通过FM、IS09001、0HSAS、IS014001国内外体系认证
设备特点：
●专注于危化品安全管理，研发和生产世界领先的安全存储、泄漏预防及控制和特殊防护产品。通过FM、IS09001、0HSAS、IS014001国内外体系认证
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗EPI工艺专用石英件
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm
全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）
适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥
设备特点：
1、清洗对象：6/8/12 半自动FOUP/Cassette/POD
2、设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成
3、清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）
4、干进干出
5、人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装
6、旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除
7、工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误
8、鼠笼设有旋转到位防呆检测
9、动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏
10、主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测
11、可预设多条Recipe，操作简洁；
12、选配SECS/GEM接口；
13、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
14、设备外形尺寸：L 2430mm X W 1430mm X H 2460mm
设备特点：
1、清洗对象：6/8/12 半自动FOUP/Cassette/POD
2、设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成
3、清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）
4、干进干出
5、人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装
6、旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除
7、工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误
8、鼠笼设有旋转到位防呆检测
9、动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏
10、主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测
11、可预设多条Recipe，操作简洁；
12、选配SECS/GEM接口；
13、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
14、设备外形尺寸：L 2430mm X W 1430mm X H 2460mm
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）
适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm
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